晶圓廠防靜電標準：從服裝到地板的全鏈路防護方案
晶圓廠的生產環境對靜電防護要求極高，哪怕微弱的靜電放電都可能導致晶圓報廢，造成巨大損失。全鏈路防護需覆蓋從人員著裝到地面設施的每個環節，美安服飾結合 SEMI 國際標準與行業實踐，梳理出系統化的防靜電方案。
人員防護：服裝與配飾的協同標準
晶圓廠需采用 Class 100 級防靜電服，面料發塵量≤100 個 /㎡（≥0.5μm 微粒），表面電阻控制在 10?-10?Ω，靜電衰減時間≤0.1 秒。連體帶帽設計配合無塵靴、導電手套，形成全封閉防護，袖口與手套重疊處需用導電膠條密封，避免電荷泄漏。此外，員工需佩戴防靜電手環，與工作臺接地裝置連接，確保體表靜電實時導出，手環電阻值需穩定在 1-35MΩ。
設備與工作臺：靜電消散的關鍵節點
生產設備外殼需通過接地線與大地連接，接地電阻≤4Ω；工作臺面鋪設防靜電橡膠墊，表面電阻 10?-10?Ω，邊緣需延伸至地面形成導電通路。晶圓存放盒采用導電塑料材質，與設備接觸時需通過卡扣實現電氣連接，防止取放過程中產生電位差。傳送機械臂的表面需噴涂導電涂層，每季度檢測涂層電阻，確保≤10?Ω。
地面與空間：全域靜電控制
車間地面需鋪設防靜電 PVC 卷材，接縫處用導電膠密封，整體接地電阻≤100Ω，同時具備耐磨特性，耐受叉車頻繁碾壓?？臻g環境中，濕度需控制在 45%-55%，避免干燥導致靜電積累；空氣凈化器需達到 Class 1000 潔凈等級，減少粉塵攜帶靜電的風險。墻面與天花板采用導電涂料，形成全域接地網絡，消除靜電死角。
美安服飾為晶圓廠提供從防靜電服到配套手套的人員防護方案，產品通過 SEMI S20.20 認證。公司擁有 23 年行業經驗，資質齊全，產品品質有保障，可配合全鏈路防護需求提供定制化產品，為晶圓生產的靜電安全提供專業支持。
